士蘭微聯合西安電子科技大學在ISSCC2025發表MEMS陀螺儀論文

2025年2月16日至20日，第72屆ISSCC（國際固態電路會議）在美國舊金山召開。杭州士蘭微電子股份有限公司（以下簡稱士蘭微）與西安電子科技大學朱樟明、鍾龍傑團隊合作的論文《A 3-Axis MEMS Gyroscope with 2.8ms Wake-Up Time Enabled by a 1.5μW Always-On Drive Loop》成功入選，並在感測器介面電路（Sensor Interfaces）分會場作為首篇文章進行報告，相關方案還在 Demo Session 2 分會場進行了現場展示。

圖1 ISSCC 2025會議報告現場

ISSCC（International Solid-State Circuits Conference）國際固態電路會議始於 1953 年，是全球學術界和工業界公認的積體電路設計領域最高級別會議。ISSCC 通常是各個時期國際上最尖端積體電路技術的首發平臺，每年吸引數千名來自世界各地工業界和學術界的參會者。

針對 MEMS 陀螺儀的事件驅動應用需求，以及常開功耗與喚醒時間的約束，該論文提出了一種基於佔空比自動尋優突發模式鎖相環的常開驅動介面電路，透過基於 Bang-bang 控制的自動動態佔空比調節，實現了 1.5µW 的超低常開功耗、2.8ms 的快速喚醒時間，以及在 – 40~85°C 寬溫域內的穩定工作，在國際上常開功耗與喚醒時間的指標上實現了突破，並首次實現了寬溫度範圍的魯棒常開模式。

多年來，士蘭微電子和西安電子科技大學憑藉各自在半導體領域的優勢，圍繞技術研發、人才培養、成果轉化等多個方面開展了深入合作。此次合作成果的入選，不僅彰顯了雙方在積體電路領域的卓越研發實力，也標誌著產學研合作在推動技術創新方面取得了新的突破。相關技術將應用於士蘭微公司下一代 MEMS 六軸感測器晶片產品。

關於士蘭微

作為國內首家上市的積體電路設計企業，士蘭微電子將MEMS感測器產品作為最主要的產品方向之一。利用士蘭特色的IDM模式，公司已形成國內一流的MEMS感測器研發團隊，並擁有大量相關專利支援，透過多項技術實現了規模化、高效化的MEMS感測器研發與生產能力，確保了為客戶提供可靠的產品支援。公司自主研發和生產的MEMS感測器產品廣泛應用於消費、工業及汽車等多個領域，包括三軸加速度計、六軸慣性感測單元、壓力感測器和磁感測器等類別。未來，士蘭微將繼續推出創新的MEMS產品，助力客戶的各類智慧化應用。

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