作者丨直八
近日，北京殺出一個獨角獸：國內半導體真空泵企業——北京通嘉，完成新一輪5億元融資。
它的核心產品是乾式真空泵，這是一種無油、無汙染的抽氣裝置，可將氣體從低壓區抽出並排放到大氣中，從而實現真空環境，主要應用於半導體制造、顯示面板、光伏等行業。
這是一個快速發展的國產替代賽道。
本文將詳細拆解：這個真空泵賽道，還藏著哪些超級機會？
– 01 –
北京通嘉成立於2012年，其主導產品乾式真空泵已實現全國產化，效能對標國際水平。
產品的最大應用領域是半導體，尤其在薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻等工藝製程段，都需要用到乾式真空泵。
當前，該賽道的全球市場長期被海外巨頭壟斷，如愛德華、Ebara 等，國產化率不足 5%，實現真空泵自主可控，這是中國半導體產業的重大命題。
半導體級真空泵產業鏈可拆解為：
1、上游是核心材料與部件提供商，特種鋼材/合金（耐高溫、耐腐蝕）、高精度密封件、真空軸承。
2、中游是裝置製造和系統整合服務商，聚焦高可靠性裝置生產（北京通嘉）。
3、下游以晶圓廠為核心需求方。
1-1 上游：核心材料與部件提供商
1-2 中游：裝置製造和系統整合服務商
1-3 下游：核心需求方
– 02 –
2-1 半導體級真空泵的定義：
它是專為半導體制造工藝設計的高精度真空裝置，用於製造半導體時抽氣，維持真空環境。
2-2分類介紹
2-3 市場規模及增速
據漢鍾精機財報顯示，2023年中國大陸與中國臺灣半導體真空泵市場規模為 79 億元。另有報告顯示，2024年中國半導體真空泵市場規模約60 – 80億元。
區域分佈上，亞太地區佔全球70%以上份額（2023年），中國臺灣、韓國晶圓廠集中；中國增速最快（2025年佔比升至25%），國產裝置逐步替代進口。
2-4 半導體級真空泵的發展階段
半導體級真空泵已經處於成熟早期，核心依據包括行業集中度較高，全球市場由Edwards（英國）、愛德華（日本）等頭部企業主導，CR5（前五企業市佔率）超70%。即便在當下的國內市場，儘管中微公司、北方華創等加速國產替代，但國際巨頭仍佔據主導地位。
2-5 半導體級真空泵的關鍵驅動因素
– 03 –
3-1行業現狀
3-2解決的痛點
3-3所處地位強弱
整體強勢（技術壁壘高），但國產替代需求迫切。
3-4主要代表玩家
– 04 –
中
遊產業鏈刨析中游是裝置製造和系統整合服務商，聚焦高可靠性裝置生產，比如北京通嘉。
4-1行業現狀
4-2解決的痛點
4-3所處地位強弱
整體不如上下游，依賴於上游供應，對下游議價能力弱。
4-4主要代表玩家
– 05 –
下
遊產業鏈刨析半導體真空泵的下游環節主要是半導體制造領域，涵蓋晶片製造的多個工藝，如單晶拉晶、光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、封裝、測試等。
5-1 行業現狀
5-2解決的痛點
5-3 所處地位強弱
話語權較強。下游晶圓廠等是核心需求方，採購量大，對產品效能、可靠性要求高，認證嚴格，其需求主導市場，在價格、技術等方面能對供應商形成較大影響，在產業鏈中佔據主導地位。
5-4主要代表玩家
– 06 –
未來1-3年新機遇
6-1 技術升級與市場需求驅動
隨著先進製程（3nm/2nm）和第三代半導體（GaN/SiC）加速滲透，對超高真空環境（≤10⁻¹¹ Pa）的需求激增，推動乾式泵、離子泵及低溫泵技術迭代。同時，晶圓廠擴產（如臺積電美國工廠、中芯國際臨港專案）及裝置國產替代政策（中國“十四五”規劃）將直接拉動本土真空泵需求，國產廠商有望在乾式泵領域實現技術突破並搶佔15%-20%市場份額。
6-2新興領域與綠色轉型機遇
量子計算、光子晶片等前沿技術對真空環境要求更嚴苛（如極紫外光刻EUV配套真空泵），催生高階市場增量。此外，全球減排政策趨嚴，無油乾式泵（能耗低、零汙染）及長壽命設計（＞10年維護週期）成為主流方向，疊加AI預測性維護技術應用，將進一步降低運營成本，拓展綠色半導體制造場景。
本文內容僅供參考，不構成任何投資建議。圖片源自AI。
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