突破14nm工藝檢測壁壘:天準科技TB2000明場奈米圖形晶圓缺陷檢測裝備開啟國產缺陷檢測新紀元

3月26日,蘇州天準科技股份有限公司(股票程式碼:688003.SH)宣佈,旗下矽行半導體公司研發的明場奈米圖形晶圓缺陷檢測裝備TB2000已正式透過廠內驗證,將於SEMICON 2025展會天準展臺(T0-117)現場正式釋出。
這標誌著公司半導體檢測裝備已具備14nm及以下先進製程的規模化量產檢測能力。這是繼TB1500突破40nm節點後,天準在高階檢測裝備國產化程序中的又一里程碑。
核心技術自主研發
TB2000採用全自主研發的高功率寬光譜雷射激發等離子體光源系統、深紫外大通量高像質成像系統,配合高行頻TDI相機、超精密高速運動平臺,同時結合AI影像處理演算法和Design CA,有效提升缺陷檢測靈敏度和檢測速度。
TB2000的釋出,使天準成為全球少數具備14nm及以下技術節點明場檢測裝備交付能力的廠商,逐步實現先進工藝中缺陷檢測裝備的國產替代。
梯度化矩陣實現全節點覆蓋
當前天準科技的產品矩陣已完成明場缺陷檢測裝備全製程覆蓋,TB1000/TB1100(65-90nm)、TB1500(40nm)及TB2000(14nm)構建起完整的工藝節點適配體系,全面滿足邏輯、儲存等不同工藝客戶產線上的明場缺陷檢測需求。這種梯度化佈局既保障了技術研發的商業閉環,又為持續突破更先進製程積蓄動能。從TB1000到TB2000的技術演進,折射出天準向國際龍頭追趕到並行的角色轉變。
此外,天準科技透過"自主研發+跨國併購+生態投資"三維戰略,陸續推出晶圓微觀缺陷檢測、Overlay量測、CD量測、掩膜量測與檢測等系列產品組合,打造了在半導體前道量測及檢測領域的佈局,構建覆蓋晶圓製造、掩膜製造、封裝測試全流程的智慧檢測解決方案。
天準,助力半導體產業迭代
據世界積體電路協會(WICA)釋出的2025年展望報告,預計2025年全球半導體市場規模將提升到7189億美元,同比增長13.2%,尤其是14nm及以下的高階檢測裝備市場,受到技術迭代和市場需求增長的雙重驅動,將繼續保持快速增長態勢。
此次TB2000的釋出,意味著在半導體產業逆全球化態勢加劇的當下,天準科技以每年迭代一代產品的研發節奏,構建起覆蓋晶片製造前道關鍵檢測節點的技術護城河。未來,天準科技將持續投入研發資源,持續深化平臺化技術優勢,加速推進14nm以下製程國產化程序,助力中國半導體產業突破“卡脖子”技術壁壘,在高階裝備領域實現跨越式發展。
END
👇半導體精品公眾號推薦👇
▲點選上方名片即可關注
專注半導體領域更多原創內容
▲點選上方名片即可關注
關注全球半導體產業動向與趨勢
*免責宣告:本文由作者原創。文章內容系作者個人觀點,半導體行業觀察轉載僅為了傳達一種不同的觀點,不代表半導體行業觀察對該觀點贊同或支援,如果有任何異議,歡迎聯絡半導體行業觀察。
今天是《半導體行業觀察》為您分享的第4075期內容,歡迎關注。
推薦閱讀
『半導體第一垂直媒體』
即時 專業 原創 深度
公眾號ID:icbank
喜歡我們的內容就點“在看”分享給小夥伴哦


相關文章